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發(fā)布信息

川崎機器人 NS420 雙手臂 無塵機器人
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品牌： 川崎
軸數(shù)： 4軸
重復定位精度： ±0.1mm
單價： 面議
所在地： 上海
有效期至： 長期有效
最后更新： 2021-06-23 11:04
瀏覽次數(shù)： 366
店鋪基本資料信息
  • 川崎重工機器人服務商
  • 聯(lián)系人羅經(jīng)理(先生)    
  • 會員 [當前離線]
  • 郵件ljw@gongboshi.com
  • 電話17521388922
  • 地址上海市寶山區(qū)富聯(lián)一路98弄6號
 
 產(chǎn)品詳細說明

NS系列機器人

用于半導體、有機EL、LCD面板

經(jīng)典水平多關節(jié)手臂

NS系列無塵機器人以其長期現(xiàn)場使用證明其具有300mm晶圓搬運所需的可靠性和高水平性能。NS系列的RTZ操縱器運動功能，具有線性軸的可選長度，以實現(xiàn)額外的FOUP伸展范圍。

NS系列機器人：

NS410 / NS510 單手臂
NS411 可以翻轉的單手臂
NS420 雙手臂
NS511懸掛式安裝，可以翻轉

 

應用：

無塵機器人外設:


 
SEMI F47合規(guī)
NS型號可以瞬時響應電波動，如電壓下降，并且在電壓恢復時自動恢復運行。
SEMI S2合規(guī)
NS型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。
碰撞檢測
軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。
翻轉夾持軸
NS411型號有一個附加軸，用于在水平和垂直角度搬運晶圓。
懸掛式安裝
NS511型號具有吊裝規(guī)格設計，用于在化學液體環(huán)境中使用，同時滿足ISO 5級的要求。


NS系列的規(guī)格

型號 NS410 NS411 NS420 NS510 NS511
構造 水平多關節(jié)型
自由度 3 軸 4 軸 4 軸 3 軸 4 軸
運動范圍 Y 軸
（行進JT1）		 2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm 
4 FOUP: 1,670 mm		 - -
θ 軸  
(旋轉JT2)		 380° 325° 325° 360° 473°
Z 軸
(上下JT3)		 380 mm 380 mm 380 mm 440 mm 440 mm
X 軸
(上下JT4)		 710 mm 798 mm X1: 646.8 mm
X2: 646.8 mm		 598 mm 816.5 mm
F 軸
(旋轉JT5)		 - 156° - - 200°
重復性 ± 0.1 mm  （晶圓中心）
無塵度*1 ISO 2級 ISO 5級
控制柜 D60/D61  (規(guī)格見無塵控制柜)

*1: 于川崎的無塵間內測得
 


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